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200 AMU CPM

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Restgasanalysator für ALD, Etch, CVD und 300 mm DEGAS—ermöglicht Prozessüberwachung und -analyse in Echtzeit
ALD-fähig mit einer Messgeschwindigkeit von 1,8 ms pro Punkt (555 Punkte pro Sekunde)
Praxisbewährte Haltbarkeit und Zuverlässigkeit in den anspruchsvollsten CVD- und Ätzanwendungen
Anwendungsintegration—Transpector CPM wird zu einem leistungsstarken Prozessüberwachungs- und Diagnosetool, wenn es in die FabGuard-Software integriert und von den erstklassigen Anwendungsexperten von INFICON unterstützt wird Kompakte Größe — ermöglicht eine einfache Integration in Produktion
Halbleiterausrüstung
Hexblock™ mit bis zu drei Druckeinlässen und reduzierter Oberfläche zur Minimierung von Oberflächenreaktionen und Reaktionszeiten
Capacitance Diaphragma Gauge (CDG) —CDG ermöglicht es dem Anwender, den Prozessdruck zu überwachen und das System automatisch vor Druckschwankungen zu schützen
Automatische Kalibrierung — gewährleistet langfristige Datenstabilität und Genauigkeit für die Abstimmung von Sensor zu Sensor und Werkzeug zu Werkzeugkammer

Eigenschaften

Hersteller Inficon
Land
Artikelnummer 200 AMU CPM

Technische Spezifikation

Kataloge