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UL3000 Fab

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Speziell für die Anforderungen der Dichtheitsprüfung in Halbleiteranwendungen entwickelt.
Es zeichnet sich durch Flexibilität, Mobilität, schnelle Inbetriebnahme, hohe Empfindlichkeit, schnelle und präzise Testergebnisse und Zuverlässigkeit aus.
Schnelleres Abpumpen (Evakuieren) aufgrund der höheren Luftpumpgeschwindigkeit.
Niedrigere Gesamtbetriebskosten (TCO) aufgrund der wartungsarmen Wurzelpumpe.
Beginnen Sie früher mit der Dichtheitsprüfung, da die HYDRO·S-Software den Hintergrund von Wasserdampf eliminiert, sodass empfindliche Messbereiche schnell erreicht werden können.
Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfunktion, da er die bewährte Schnüffelleitung SL3000 verwendet, die bis zu 10 m lang ist. Der SL3000 hat einen separaten Anschluss, sodass kein Anschluss an den Vakuumeingang erforderlich ist.

Eigenschaften

Hersteller Inficon
Land
Artikelnummer UL3000 Fab

Technische Spezifikation

Kataloge