SemiQCM SR-Sensoren für die Precursor-Überwachung
Das Unternehmen Enapart bezieht Produkte über Niederlassungen in 14 Ländern und versucht, mit der Unterstützung von lokalen Distributoren die besten Preise für angeforderte Teile anzubieten. Gerne senden wir Ihnen ein Angebot, wenn Sie unser Kontaktformular ausfüllen oder uns eine E-Mail mit Ihrer Anfrage senden.
QCM-Daten werden bei 10 Hz überwacht
FabGuard korreliert QCM-Daten mit dem Werkzeugzustand und dem Prozessschritt
Präzise Messung der Abscheidungs- oder Ätzraten
Empfindlichkeit und Präzision für die Dickenmessung von Submonoschichten
